石墨制品，作為支持半導體材料成長的關(guān)鍵因素

石墨制品，作為支撐半導體資料生長的關(guān)鍵因素，其運用與開展也日益遭到人們的注重。
高純石墨制品在第三代半導體單晶生長設(shè)備中發(fā)揮著不可或缺的作用，它們常被用作碳化硅（SiC）單晶生長爐的石墨坩堝和石墨加熱器，同時也在GaN外延生長的石墨基座以及抗高溫燒蝕涂層石墨基座等方面得到廣泛運用。

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