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單晶石墨熱場的功能優(yōu)勢
耐高溫功能：石墨熔點達3650℃，可在真空或惰性氣體環(huán)境中長期安穩(wěn)工作。
導(dǎo)電與機械強度：抗壓強度≥80MPa，兼具導(dǎo)電性與結(jié)構(gòu)安穩(wěn)性，適配大尺寸單晶爐（如36英寸以上硅棒出產(chǎn)）。
化學(xué)惰性：耐酸堿腐蝕，避免與熔融硅反響生成碳化硅雜質(zhì)，保證單晶硅純度。
成本效益：等靜壓石墨代替?zhèn)鹘y(tǒng)鎢鉬加熱器后，能耗降低30%，同時延長熱場使用壽命，降低綜合出產(chǎn)成本。

單晶石墨熱場