單晶石墨熱場的核心功能

單晶石墨熱場的中心功能
    單晶石墨熱場是單晶硅成長設(shè)備中的中心熱辦理體系，它經(jīng)過電能轉(zhuǎn)化為熱能，完結(jié)硅料熔融及晶體成長溫度的精準(zhǔn)操控，對單晶硅的質(zhì)量、成品率和出產(chǎn)功率具有決定性影響。
    高溫熔融：在1414℃以上安穩(wěn)熔化硅料，并保持單晶成長所需的溫度梯度，保證晶體結(jié)構(gòu)完整性。
    熱場均勻性：運(yùn)用石墨的高導(dǎo)熱性完結(jié)熱量均勻分布，下降晶體缺陷率，前進(jìn)單晶硅的質(zhì)量。
    污染防控：高純度石墨資料可削減熔硅污染，滿足半導(dǎo)體級硅資料對純度的嚴(yán)格要求。