單晶石墨熱場(chǎng)的關(guān)鍵部件

單晶石墨熱場(chǎng)的要害部件
    石墨坩堝：一般選用三瓣式規(guī)劃，防止硅液泄露，使用壽命可達(dá)30-50爐次。
    加熱器：由等靜壓石墨制成，支撐2000℃以上安穩(wěn)加熱，為單晶成長(zhǎng)供應(yīng)足夠熱能。
    隔熱體系：由多層石墨氈或碳纖維復(fù)合材料構(gòu)成，熱反射率≥90%，可下降能耗20%-30%。
    導(dǎo)流筒：優(yōu)化熱場(chǎng)氣流散布，提高熱場(chǎng)均勻性。
    維護(hù)部件：在爐底、金屬電極、托桿等位置設(shè)置維護(hù)板或維護(hù)套，防止漏硅及機(jī)械損害。

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