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單晶石墨熱場(chǎng)的關(guān)鍵部件
石墨坩堝：通常采用三瓣式規(guī)劃，避免硅液走漏，使用壽命可達(dá)30-50爐次。
加熱器：由等靜壓石墨制成，支持2000℃以上安穩(wěn)加熱，為單晶生長(zhǎng)供給充足熱能。
隔熱體系：由多層石墨氈或碳纖維復(fù)合材料構(gòu)成，熱反射率≥90%，可降低能耗20%-30%。
導(dǎo)流筒：優(yōu)化熱場(chǎng)氣流分布，提高熱場(chǎng)均勻性。
保護(hù)部件：在爐底、金屬電極、托桿等位置設(shè)置保護(hù)板或保護(hù)套，避免漏硅及機(jī)械損傷。
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